有兴趣的可以看看，了解一下目前在突破2纳米光刻技术上所遇到的挑战

James · March 25, 2023, 7:50pm

阿嘉韦隆 · March 26, 2023, 3:30am

很好的文章，不过太专业了。

文章说明有了高端EUV后，并不代表一切，后面还有光刻胶和抗蚀剂，也就是具体的工艺选择。